台阶仪、轮廓仪、粗糙度仪、圆度仪----KOSAKA Laboratory Ltd.株式会社小坂研究所!
KOSAKA
台阶仪 ET200【台阶仪】
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【品名】 台阶仪 ET200

 

 

·二次元表面粗糙度解析及断差测定最适合
·高精度、高分辨率•优秀的安定性重复性。
·另外,因为微量测力软样品表面也能对应。

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服务邮箱:sales@yinghaoda.cn

 

KOSAKA LAB ET 200
微细形状测定机(探针接触式台阶仪)
株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于1950 年创立的公司,也是日本第一家发表光学
杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商,主要有测定/自动/流体三大
部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
设备特点:
KOSAKA ET 200 基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半
导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、
薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高
精度表面形貌分析应用。ET 200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨
损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD
原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

台阶仪可以应用在半导体,光伏/太阳能,光电子,化合物半导体,OLED,生物医药,PCB封装等领域的薄膜厚度,台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax...),划痕深度,磨损深度,薄膜应力(曲定量率半径法)等定量测量方面。其高精度,高重复性,自动探索样品表面

最大尺寸

φ200×厚50mm

再现性

1σ 1nm以内

測定范围

Z:600μm X:100mm

分解能

Z:0.1nm X:0.1μm

测定力

10μN~500μN

台阶仪
FPD制程用全自动机Sufcorder ET5000 / ET6000 ·广泛用于PDP等面板行业的膜厚测量等领域。
·全自动微细形状测定机(台阶仪)ET4000 Series ·纳米级高精度、低测力、安定性、机能卓越 ·应用于WAFER、FDP基板、TFT-LCD、COLOR FILTER、 BUMP、HARDDISK、光电产品,测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等。
台阶仪 ET200 【台阶仪】
·二次元表面粗糙度解析及断差测定最适合 ·高精度、高分辨率•优秀的安定性重复性。 ·另外,因为微量测力软样品表面也能对应。
粗糙度轮廓仪
轮廓仪 EF-650D 【轮廓仪】
检测器采用数位光栅尺,使高精度高分辨率测量成为可能。 •尺寸标注,滚珠丝杠解析。 •非球面解析。 •数据图形排列自由编辑。 •Z(检测器)分辨率0.05μm •再测量功能,简单地重新测量 •自动保存功能,万一的情况也保护数据
轮廓仪 REF100 【轮廓仪】
可以迅速准确测量曲轴的颈部和销的转角处的R面的专用测定机。 •多个要素解析功能。 •强大的宏功能。
轮廓仪 EF-650 【轮廓仪】
轮廓形状测量标准机。 •拨码式的测量力调整机构 •再测量功能,简单地重新测量 •自动保存功能,万一的情况也保护数据
•分析具有宏功能,可以集合繁杂的解析作业,省时省力。 •可移动性/设置自由度高的测量机。 •实时输出功能,测量的形状数据可以放大。 •可以与电脑轮廓形状分析系统的连接,更先进的分析成为可能。
圆度仪
圆柱度仪 1550H 【圆柱度仪】
KOSAKA EC 1550H真圆度测定机, 具备出色的性价比,全测量能力, 易于使用,适用于车间环境中对 工件的几何测量。 其出色的数据分析完全可以满足 实验室圆度测量的要求,传感器的 测量范围高达1800um, 专利的多静 压式轴承系统旋转工作台具有更高的精度。
圆度仪 EC600 【圆度仪】
KOSAKA EC 600真圆度测定机, 具备出色的性价比,全测量能力, 易于使用,适用于车间环境中对 工件的几何测量。 其出色的数据分析完全可以满足 实验室圆度测量的要求,传感器的 测量范围高达1800um, 专利的多静 压式轴承系统旋转工作台具有更高的精度。

台阶仪


ET5000 ET4000 ET200

粗糙度轮廓仪


粗糙度仪 轮廓仪 粗糙度轮廓一体机

圆度仪


圆度仪 圆柱度仪
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